Формирование гетероструктур наноприборов методом МЛЭ
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , , , |
| Zusammenfassung: | Рекомендовано Научно методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия Настоящее издание соответствует учебной программе курса «Специ) альные технологические методы в нанотехнологии». Рассматриваются методы выращивания 2D)наноструктур (наносло) ев), 1D)наноструктур (нанонитей) и 0D)наноструктур (наночастиц) с по) мощью молекулярно)лучевой эпитаксии для их применения в нано) приборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6)го курса приборостроительных специальностей. Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Veröffentlicht: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/52157.jpg |
| Format: | Elektronisch Buch |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 52157 | ||
| 100 | |a 20250516d2009 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Формирование гетероструктур наноприборов методом МЛЭ |b Электронный ресурс |f Шашурин В. Д.,Малышев К. В.,Мешков С. А.,Скороходов Е. А.,Нарайкин О. С. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МГТУ им. Н.Э. Баумана |d 2009 | ||
| 215 | |a 42 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано Научно методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия | ||
| 330 | |a Настоящее издание соответствует учебной программе курса «Специ) альные технологические методы в нанотехнологии». Рассматриваются методы выращивания 2D)наноструктур (наносло) ев), 1D)наноструктур (нанонитей) и 0D)наноструктур (наночастиц) с по) мощью молекулярно)лучевой эпитаксии для их применения в нано) приборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6)го курса приборостроительных специальностей. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a наноструктуры | |
| 610 | 0 | |a применение наноструктур | |
| 610 | 0 | |a молекулярно)лучевая эпитаксия | |
| 610 | 0 | |a изготовление наноструктур | |
| 610 | 0 | |a установка молекулярно)лучевой эпитаксии | |
| 610 | 0 | |a рабочий объем | |
| 610 | 0 | |a эффузионные ячейки | |
| 610 | 0 | |a картины на экране дифракции быстрых электронов | |
| 610 | 0 | |a подготовка подложки | |
| 610 | 0 | |a измерение скорости роста | |
| 610 | 0 | |a измерение потока ионизационной лампой | |
| 610 | 0 | |a колебания интенсивности на экране дифракции быстрых электронов | |
| 610 | 0 | |a поведение частиц | |
| 610 | 0 | |a рост слоев al x ga 1 x as | |
| 610 | 0 | |a избыточное давление паров as | |
| 610 | 0 | |a поверхностная подвижность al | |
| 610 | 0 | |a поверхностная подвижность ga | |
| 610 | 0 | |a опорная температура | |
| 610 | 0 | |a дельта)легирование | |
| 610 | 0 | |a сегрегация легирующей примеси | |
| 610 | 0 | |a сублимационная молекулярно)лучевая эпитаксия | |
| 610 | 0 | |a легирование кремния эрбием | |
| 610 | 0 | |a легирование algaas железом | |
| 610 | 0 | |a млэ)рост 2 d)наноструктур | |
| 610 | 0 | |a нанослои | |
| 610 | 0 | |a плазменная активация | |
| 610 | 0 | |a нанослои gan | |
| 610 | 0 | |a нанослои aln | |
| 610 | 0 | |a нанослои ingaasn | |
| 610 | 0 | |a нанослои hgcdte | |
| 610 | 0 | |a нанослои znmgse | |
| 610 | 0 | |a млэ)рост 1 d)наноструктур | |
| 610 | 0 | |a нанонитей | |
| 610 | 0 | |a нанонити gaas с катализатором au | |
| 610 | 0 | |a нанонити gaas на подложке si | |
| 610 | 0 | |a нанонити znte на подложке gaas | |
| 610 | 0 | |a млэ)рост 0 d)наноструктур | |
| 610 | 0 | |a наночастиц | |
| 610 | 0 | |a наночастицы ge | |
| 610 | 0 | |a наночастицы inas | |
| 675 | |a 621.38(075.8) | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Шашурин |b В. Д. | |
| 701 | 1 | |a Малышев |b К. В. | |
| 701 | 1 | |a Мешков |b С. А. | |
| 701 | 1 | |a Скороходов |b Е. А. | |
| 701 | 1 | |a Нарайкин |b О. С. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=52157 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/52157.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/52157.jpg | ||