Многокомпонентные ионные пучки на основе вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 37, № 3 - Рябчиков А. И. Александр Ильич (1994, 1994)
Обобщены результаты исследований по импульсно-периодич. генерации многокомпонентных потоков ионов в источниках на основе вакуумного дугового разряда. Рассмотрены методы формирования управляемых по составу и энергии ионов многокомпонентных пучков для многоэлементной ионной имплантации в источниках "Радуга". Описаны особенности и закономерности эмиссионных свойств широкоапертурных источников ионов с генерацией плазмы испарением материала в катодном пятне. Проведен сравнительный анализ физич. закономерностей и возможностей формирования одно- и многоэлементных пучков ионов при их извлечении со свободной плазменной границы, в условиях существования виртуального анода и при наличии положительного прианодного падения напряжения в плазме ВДР