|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
506117 |
| 005 |
20231101103143.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\176983
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\176981
|
| 090 |
|
|
|a 506117
|
| 100 |
|
|
|a 20130430a1994 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Многокомпонентные ионные пучки на основе вакуумной дуги
|f А. И. Рябчиков
|
| 330 |
|
|
|a Обобщены результаты исследований по импульсно-периодич. генерации многокомпонентных потоков ионов в источниках на основе вакуумного дугового разряда. Рассмотрены методы формирования управляемых по составу и энергии ионов многокомпонентных пучков для многоэлементной ионной имплантации в источниках "Радуга". Описаны особенности и закономерности эмиссионных свойств широкоапертурных источников ионов с генерацией плазмы испарением материала в катодном пятне. Проведен сравнительный анализ физич. закономерностей и возможностей формирования одно- и многоэлементных пучков ионов при их извлечении со свободной плазменной границы, в условиях существования виртуального анода и при наличии положительного прианодного падения напряжения в плазме ВДР
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77110
|t Т. 37, № 3
|v С. 34-53
|d 1994
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130430
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130430
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
