Bibliografiske detaljer
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 37, № 3.— 1994.— С. 34-53 |
|---|
| Hovedforfatter: |
Рябчиков А. И. Александр Ильич |
|---|
| Summary: | Обобщены результаты исследований по импульсно-периодич. генерации многокомпонентных потоков ионов в источниках на основе вакуумного дугового разряда. Рассмотрены методы формирования управляемых по составу и энергии ионов многокомпонентных пучков для многоэлементной ионной имплантации в источниках "Радуга". Описаны особенности и закономерности эмиссионных свойств широкоапертурных источников ионов с генерацией плазмы испарением материала в катодном пятне. Проведен сравнительный анализ физич. закономерностей и возможностей формирования одно- и многоэлементных пучков ионов при их извлечении со свободной плазменной границы, в условиях существования виртуального анода и при наличии положительного прианодного падения напряжения в плазме ВДР |
|---|
| Sprog: | russisk |
|---|
| Udgivet: |
1994
|
|---|
| Fag: | |
|---|
| Format: | Book Chapter
|
|---|
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506117 |
|---|
