Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
| Parent link: | Поверхность. Физика, химия, механика/ Российская кадемия наук (РАН), Институт физики твердого тела (ИФТТ).— , 1983-1996 № 3.— 1992.— С. 98-105 |
|---|---|
| Hoofdauteur: | |
| Andere auteurs: | |
| Taal: | Russisch |
| Gepubliceerd in: |
1992
|
| Onderwerpen: | |
| Formaat: | Hoofdstuk |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506080 |
| Geen beschrijving beschikbaar. |