Применение высокоэнергетического ионного микропучка для анализа имплантированных примесей; Поверхность. Физика, химия, механика; № 1
| Parent link: | Поверхность. Физика, химия, механика/ Российская кадемия наук (РАН), Институт физики твердого тела (ИФТТ).— , 1983-1996 № 1.— 1989.— С. 81-87 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Language: | Russian |
| Published: |
1989
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=506074 |
| Description not available. |