MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 49820
005 20231031032701.0
010 |a 5020138347 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\52163 
090 |a 49820 
100 |a 20030407d1988 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Действие излучений на полупроводники  |f В.С. Вавилов, Н. П. Кекелидзе, Л. С. Смирнов 
210 |a Москва  |c Наука  |d 1988 
215 |a 190 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 180-181. 
606 1 |a Полупроводники  |x Действие ионизирующих излучений  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50557 
610 1 |a физика 
610 1 |a свойства 
610 1 |a физические явления 
610 1 |a ионная имплантация 
610 1 |a ионизирующие излучения 
610 1 |a действие 
610 1 |a твердые тела 
675 |a 537.311.322:539  |v 3 
700 1 |a Вавилов  |b В.С.  |g Виктор Сергеевич 
701 1 |a Кекелидзе  |b Н. П.  |g Нодар Проклиевич 
701 1 |a Смирнов  |b Л. С.  |g Леонид Степанович 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20030407  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170704  |g PSBO 
900 |a Взаимодействие излучения с веществом 
942 |c BK