Смирнов С. В. (2010). Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Москва, ТУСУР, 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationСмирнов С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Москва, ТУСУР, 2010, 2010.
MLA (9th ed.) CitationСмирнов С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Москва, ТУСУР, 2010, 2010.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.