Технология материалов и изделий электронной техники. Часть 1
| Parent link: | Технология материалов и изделий электронной техники. / Орликов Л. Н.. Ч. 1 |
|---|---|
| Yazar: | |
| Özet: | В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии; основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники; основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ. Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Москва, ТУСУР, 2012
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4932 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4932.jpg |
| Materyal Türü: | Elektronik Kitap |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 4932 | ||
| 100 | |a 20250516d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Технология материалов и изделий электронной техники. Часть 1 |f Орликов Л. Н. |h Ч. 1 | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c ТУСУР |d 2012 | ||
| 215 | |a 98 с. | ||
| 330 | |a В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии; основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники; основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | ||
| 461 | 0 | |1 2001 |a Технология материалов и изделий электронной техники |f Орликов Л. Н. |v Ч. 1 | |
| 610 | 0 | |a производство материалов и изделий электронной техники | |
| 610 | 0 | |a физикохимические основы технологических процессов | |
| 610 | 0 | |a металлы и сплавы | |
| 610 | 0 | |a их производство и применение | |
| 610 | 0 | |a получение полупроводниковых кристаллических материалов | |
| 610 | 0 | |a производство диэлектрических материалов | |
| 610 | 0 | |a порошковая технология | |
| 610 | 0 | |a получение газообразных и жидких материалов | |
| 610 | 0 | |a подготовка материалов к технологическим операциям | |
| 610 | 0 | |a физикохимические методы формирования пленочных материалов на элементах электронных приборов | |
| 610 | 0 | |a получение наноматериалов | |
| 610 | 0 | |a основы построения технологических процессов | |
| 610 | 0 | |a кинетика технологических процессов | |
| 610 | 0 | |a уравнение состояния процесса | |
| 610 | 0 | |a кинетическое уравнение элементарного технологического процесса откачки газа | |
| 610 | 0 | |a кинетика термического испарения материалов в вакууме | |
| 610 | 0 | |a физикохимические процессы кинетики конденсации пленок | |
| 610 | 0 | |a поверхностные явления при проведении технологических операций | |
| 610 | 0 | |a диффузионные явления в технологических процессах | |
| 610 | 0 | |a диффузионное газовыделение | |
| 610 | 0 | |a поверхностная диффузия при формировании пленок | |
| 610 | 0 | |a объемная диффузия при легировании материалов | |
| 610 | 0 | |a межфазные взаимодействия в технологических процессах | |
| 610 | 0 | |a теплота | |
| 610 | 0 | |a внутренняя энергия | |
| 610 | 0 | |a энтальпия | |
| 610 | 0 | |a энтропия | |
| 610 | 0 | |a свободная энергия | |
| 610 | 0 | |a фазовая диаграмма | |
| 610 | 0 | |a применение теории межфазных взаимодействий при формировании высококачественных пленок | |
| 610 | 0 | |a кинетика процесса молякулярнолучевой эпитаксии | |
| 610 | 0 | |a фазовая диаграмма процесса роста эпитаксиальных пленок | |
| 610 | 0 | |a определение механизма диффузии газов из материала | |
| 610 | 0 | |a физические основы вакуумной | |
| 610 | 0 | |a ваккумная технология | |
| 610 | 0 | |a лазерная технология | |
| 610 | 0 | |a электроннолучевая технология | |
| 610 | 0 | |a ионнолучевая технология | |
| 610 | 0 | |a плазменная технология | |
| 610 | 0 | |a применение потоков электронов ионов и плазмы в упрочняющих технологиях | |
| 675 | |a 621.387.002 | ||
| 700 | 1 | |a Орликов |b Л. Н. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4932 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/4932.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/4932.jpg | ||