Оптимизация магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 202-205 |
|---|---|
| Autres auteurs: | Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Ибрагимов Е. А. Егор Артурович, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2009
|
| Sujets: | |
| Format: | Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491457 |
Documents similaires
Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
par: Третьяков Р. С.
Publié: (2010)
par: Третьяков Р. С.
Publié: (2010)
Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (2010)
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (2010)
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
par: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publié: (2015)
par: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publié: (2015)
Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
Publié: (2014)
Publié: (2014)
Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
par: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Publié: (2022)
par: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Publié: (2022)
Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
par: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Publié: (2011)
par: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Publié: (2011)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
par: Рогожников Д. С.
Publié: (2016)
par: Рогожников Д. С.
Publié: (2016)
Оптимизация процессов распылительной сушки
par: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
Publié: (Киев, Наукова думка, 1984)
par: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
Publié: (Киев, Наукова думка, 1984)
Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
par: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Publié: (2023)
par: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Publié: (2023)
Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
par: Ашихмин Д. А.
Publié: (2024)
par: Ашихмин Д. А.
Publié: (2024)
Т. 52, № 8/2 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Исследование режимов работы дуального магнетрона; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Осаждение кальций-фосфатных покрытий мощными ионными пучками; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Т. 57, № 11/2 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2014)
Publié: (2014)
Т. 55, № 11/2 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2012)
Publié: (2012)
Т. 56, № 11/2 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2013)
Publié: (2013)
Т. 53, № 11/2 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2010)
Publié: (2010)
Т. 54, № 11/2 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2011)
Publié: (2011)
Т. 52, № 11/2; Известия вузов. Физика
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Формирование структуры пленочного покрытия при воздействии ионного пучка; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
par: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publié: (2009)
par: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publié: (2009)
Т. 47, № 11 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2004)
Publié: (2004)
Т. 52, № 11; Известия вузов. Физика
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Источник мощного электромагнитного излучения наносекундной длительности к-диапазона частот; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Обработка поверхности материалов плазмой магнетронного разряда и ионными пучками; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Измерение длины электронных сгустков на основе когерентного дифракционного излучения; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Математическое моделирование электроразрядного разрушения хрупких материалов; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 8/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2016)
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2016)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, 2016)
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, 2016)
Т. 55, № 11/3 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2012)
Publié: (2012)
Т. 56, № 11/3 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2013)
Publié: (2013)
Т. 54, № 11/3 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2011)
Publié: (2011)
Радиационно-термический синтез замещенных литиевых феррошпинелей; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 8 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
par: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publié: (2009)
par: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publié: (2009)
Переходное излучение в вакуумном ультрафиолете как средство диагностики пучков ускорителей; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
par: Гоголев С. Ю. Сергей Юрьевич
Publié: (2009)
par: Гоголев С. Ю. Сергей Юрьевич
Publié: (2009)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, 2016)
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, 2016)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2016)
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2016)
Концентрация пор в металлах при радиационном воздействии; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 8/2 (приложение)
par: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publié: (2009)
par: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publié: (2009)
Мощный интерференционный СВЧ-переключатель с коммутацией H₁₁-моды в круглом волноводе; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Структура и свойства поверхности электронно-пучковой обработки стали, подвергнутой электровзрывному алитированию; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Publié: (2009)
Publié: (2009)
Т. 57, № 2/2 (приложение); Известия вузов. Физика
Publié: (2014)
Publié: (2014)
Documents similaires
-
Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
par: Третьяков Р. С.
Publié: (2010) -
Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
par: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publié: (2010) -
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
par: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publié: (2015) -
Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
Publié: (2014) -
Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
par: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Publié: (2022)