Оптимизация магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)

Bibliographische Detailangaben
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 52, № 11/2 (приложение).— 2009.— С. 202-205
Weitere Verfasser: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович, Ибрагимов Е. А. Егор Артурович, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: 2009
Schlagworte:
Format: Buchkapitel
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491457

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 491457
005 20250904133915.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\160443 
035 |a RU\TPU\prd\160442 
090 |a 491457 
100 |a 20121127a2009 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Оптимизация магнетронной распылительной системы  |f О. Х. Асаинов [и др.] 
320 |a Библиогр.: с. 205 (4 назв.) 
461 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191  |t Известия вузов. Физика  |f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет  |d 1958- 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\127039  |t Т. 52, № 11/2 (приложение)  |v С. 202-205  |d 2009 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
701 1 |a Асаинов  |b О. Х.  |c ведущий научный сотрудник  |c лабораторя №23, НИИЯФ Томского политехнического университета  |g Олег Хайдарович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25109  |4 070 
701 1 |a Ибрагимов  |b Е. А.  |c специалист в области машиностроения  |c старший преподаватель Юргинского технологического института (филиала) Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1983-  |g Егор Артурович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27431  |4 070  |9 12741 
701 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |4 070  |9 9290 
701 1 |a Юрьев  |b Ю. Н.  |c специалист в области водородной энергетики  |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник  |f 1984-  |g Юрий Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543  |9 14839 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20121127 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160407  |g RCR 
942 |c BK