Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 113-118
المؤلف الرئيسي: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
مؤلفون آخرون: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
اللغة:الروسية
منشور في: 2010
الموضوعات:
التنسيق: فصل الكتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491411

مواد مشابهة