Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)

書誌詳細
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 113-118
第一著者: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
その他の著者: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
言語:ロシア語
出版事項: 2010
主題:
フォーマット: 図書の章
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491411

類似資料