Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 113-118 |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич |
| مؤلفون آخرون: | Кривобоков В. П. Валерий Павлович |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
2010
|
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | فصل الكتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491411 |
مواد مشابهة
Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
منشور في: (2011)
حسب: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
منشور في: (2011)
Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
حسب: Третьяков Р. С.
منشور في: (2010)
حسب: Третьяков Р. С.
منشور في: (2010)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2016)
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2016)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, 2016)
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, 2016)
Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Киселева Д. В.
منشور في: (2015)
حسب: Киселева Д. В.
منشور في: (2015)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2016)
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2016)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, 2016)
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, 2016)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
حسب: Рогожников Д. С.
منشور في: (2016)
حسب: Рогожников Д. С.
منشور في: (2016)
Оптимизация магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
منشور في: (2009)
منشور في: (2009)
Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Азина М. А.
منشور في: (2011)
حسب: Азина М. А.
منشور في: (2011)
Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Бутько Я. А. Яна Александровна
منشور في: (2013)
حسب: Бутько Я. А. Яна Александровна
منشور في: (2013)
Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
حسب: Витязь П. А. Петр Александрович
منشور في: (Минск, Наука и техника, 1983)
حسب: Витязь П. А. Петр Александрович
منشور في: (Минск, Наука и техника, 1983)
Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
حسب: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
منشور في: (2022)
حسب: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
منشور في: (2022)
Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
منشور في: (2014)
منشور في: (2014)
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
حسب: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
منشور في: (2015)
حسب: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
منشور في: (2015)
Способ получения нитрида алюминия
منشور في: ()
منشور في: ()
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
حسب: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
منشور في: (2020)
حسب: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
منشور في: (2020)
Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
منشور في: (Москва, Наука, 1981)
منشور في: (Москва, Наука, 1981)
Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
حسب: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
منشور في: (2023)
حسب: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
منشور في: (2023)
Магнетронное осаждение оксида титана в поле ионов аргона; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
حسب: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
منشور في: (2010)
حسب: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
منشور في: (2010)
Способ получения микрокристаллов нитрида алюминия
منشور في: ()
منشور في: ()
Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
حسب: Ашихмин Д. А.
منشور في: (2024)
حسب: Ашихмин Д. А.
منشور في: (2024)
Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
حسب: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
منشور في: (Москва, Наука, 1973)
حسب: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
منشور في: (Москва, Наука, 1973)
Оптимизация процессов распылительной сушки
حسب: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1984)
حسب: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1984)
Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
منشور في: (2025)
منشور في: (2025)
Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
حسب: Михневич К. С.
منشور في: (2015)
حسب: Михневич К. С.
منشور في: (2015)
Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2012)
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2012)
Т. 53, № 10/2 (приложение); Известия вузов. Физика
منشور في: (2010)
منشور في: (2010)
Синтез нанопорошков оксидов алюминия и циркония методом распылительной сушки; Высокие технологии в современной науке и технике
حسب: Илела А. Э. Алфа Эдисон
منشور في: (2014)
حسب: Илела А. Э. Алфа Эдисон
منشور في: (2014)
Осаждение пленок арсенида галлия ионной абляцией и их термическая и химическая пассивация; ФВЗЧК-2011
منشور في: (2011)
منشور في: (2011)
Осаждение пленок арсенида галлия методом импульсной ионной абляции и их свойства; Физика твердого тела
منشور في: (2009)
منشور في: (2009)
Электролитическое осаждение железа
منشور في: (Кишинев, Штиинца, 1990)
منشور في: (Кишинев, Штиинца, 1990)
Электролитическое осаждение сплавов
حسب: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
منشور في: (Ленинград, Машиностроение, 1986)
حسب: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
منشور في: (Ленинград, Машиностроение, 1986)
Электролитическое осаждение сплавов
حسب: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
منشور في: (Ленинград, Машиностроение, 1971)
حسب: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
منشور في: (Ленинград, Машиностроение, 1971)
Электролитическое осаждение сплавов
حسب: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
منشور في: (Ленинград, Машиностроение, 1977)
حسب: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
منشور في: (Ленинград, Машиностроение, 1977)
Процессы распылительной сушки в нестационарных аэродинамических потоках монография
حسب: Михалева Т. В.
منشور في: (Оренбург, ОГУ, 2015)
حسب: Михалева Т. В.
منشور في: (Оренбург, ОГУ, 2015)
Получение композиционных порошков на основе оксидов алюминия и циркония методом распылительной сушки; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
حسب: Нургысанова А. Е.
منشور في: (2015)
حسب: Нургысанова А. Е.
منشور في: (2015)
Плазмодинамический синтез нитрида алюминия; Энергетика, электромеханика и энергоэффективные технологии глазами молодежи
حسب: Гуков М. И.
منشور في: (2015)
حسب: Гуков М. И.
منشور في: (2015)
Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы; Изотопы: технологии, материалы и применение
حسب: Мюсова А. Е.
منشور في: (2021)
حسب: Мюсова А. Е.
منشور في: (2021)
Синтез нитевидных и гексагональных микрокристаллов нитрида алюминия при горении нанопорошка алюминия в воздухе; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
منشور في: (2010)
حسب: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
منشور في: (2010)
مواد مشابهة
-
Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
منشور في: (2011) -
Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
حسب: Третьяков Р. С.
منشور في: (2010) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2016) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
منشور في: (Томск, 2016) -
Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Киселева Д. В.
منشور في: (2015)