Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 113-118 |
|---|---|
| 第一著者: | Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич |
| その他の著者: | Кривобоков В. П. Валерий Павлович |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2010
|
| 主題: | |
| フォーマット: | 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491411 |
類似資料
Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
著者:: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
出版事項: (2011)
著者:: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
出版事項: (2011)
Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
著者:: Третьяков Р. С.
出版事項: (2010)
著者:: Третьяков Р. С.
出版事項: (2010)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2016)
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2016)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, 2016)
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, 2016)
Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Киселева Д. В.
出版事項: (2015)
著者:: Киселева Д. В.
出版事項: (2015)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2016)
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2016)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, 2016)
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, 2016)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Рогожников Д. С.
出版事項: (2016)
著者:: Рогожников Д. С.
出版事項: (2016)
Оптимизация магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
出版事項: (2009)
出版事項: (2009)
Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3
著者:: Азина М. А.
出版事項: (2011)
著者:: Азина М. А.
出版事項: (2011)
Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Бутько Я. А. Яна Александровна
出版事項: (2013)
著者:: Бутько Я. А. Яна Александровна
出版事項: (2013)
Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
著者:: Витязь П. А. Петр Александрович
出版事項: (Минск, Наука и техника, 1983)
著者:: Витязь П. А. Петр Александрович
出版事項: (Минск, Наука и техника, 1983)
Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
出版事項: (2022)
著者:: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
出版事項: (2022)
Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
出版事項: (2014)
出版事項: (2014)
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
著者:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
出版事項: (2015)
著者:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
出版事項: (2015)
Способ получения нитрида алюминия
出版事項: ()
出版事項: ()
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
著者:: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
出版事項: (2020)
著者:: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
出版事項: (2020)
Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
出版事項: (Москва, Наука, 1981)
出版事項: (Москва, Наука, 1981)
Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
出版事項: (2023)
著者:: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
出版事項: (2023)
Магнетронное осаждение оксида титана в поле ионов аргона; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
著者:: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版事項: (2010)
著者:: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
出版事項: (2010)
Способ получения микрокристаллов нитрида алюминия
出版事項: ()
出版事項: ()
Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Ашихмин Д. А.
出版事項: (2024)
著者:: Ашихмин Д. А.
出版事項: (2024)
Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
著者:: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
出版事項: (Москва, Наука, 1973)
著者:: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
出版事項: (Москва, Наука, 1973)
Оптимизация процессов распылительной сушки
著者:: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
出版事項: (Киев, Наукова думка, 1984)
著者:: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
出版事項: (Киев, Наукова думка, 1984)
Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
出版事項: (2025)
出版事項: (2025)
Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
著者:: Михневич К. С.
出版事項: (2015)
著者:: Михневич К. С.
出版事項: (2015)
Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
著者:: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版事項: (2012)
著者:: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版事項: (2012)
Т. 53, № 10/2 (приложение); Известия вузов. Физика
出版事項: (2010)
出版事項: (2010)
Синтез нанопорошков оксидов алюминия и циркония методом распылительной сушки; Высокие технологии в современной науке и технике
著者:: Илела А. Э. Алфа Эдисон
出版事項: (2014)
著者:: Илела А. Э. Алфа Эдисон
出版事項: (2014)
Осаждение пленок арсенида галлия ионной абляцией и их термическая и химическая пассивация; ФВЗЧК-2011
出版事項: (2011)
出版事項: (2011)
Осаждение пленок арсенида галлия методом импульсной ионной абляции и их свойства; Физика твердого тела
出版事項: (2009)
出版事項: (2009)
Электролитическое осаждение железа
出版事項: (Кишинев, Штиинца, 1990)
出版事項: (Кишинев, Штиинца, 1990)
Электролитическое осаждение сплавов
著者:: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
出版事項: (Ленинград, Машиностроение, 1986)
著者:: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
出版事項: (Ленинград, Машиностроение, 1986)
Электролитическое осаждение сплавов
著者:: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
出版事項: (Ленинград, Машиностроение, 1971)
著者:: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
出版事項: (Ленинград, Машиностроение, 1971)
Электролитическое осаждение сплавов
著者:: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
出版事項: (Ленинград, Машиностроение, 1977)
著者:: Вячеславов П. М. Петр Михайлович
出版事項: (Ленинград, Машиностроение, 1977)
Процессы распылительной сушки в нестационарных аэродинамических потоках монография
著者:: Михалева Т. В.
出版事項: (Оренбург, ОГУ, 2015)
著者:: Михалева Т. В.
出版事項: (Оренбург, ОГУ, 2015)
Получение композиционных порошков на основе оксидов алюминия и циркония методом распылительной сушки; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
著者:: Нургысанова А. Е.
出版事項: (2015)
著者:: Нургысанова А. Е.
出版事項: (2015)
Плазмодинамический синтез нитрида алюминия; Энергетика, электромеханика и энергоэффективные технологии глазами молодежи
著者:: Гуков М. И.
出版事項: (2015)
著者:: Гуков М. И.
出版事項: (2015)
Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы; Изотопы: технологии, материалы и применение
著者:: Мюсова А. Е.
出版事項: (2021)
著者:: Мюсова А. Е.
出版事項: (2021)
Синтез нитевидных и гексагональных микрокристаллов нитрида алюминия при горении нанопорошка алюминия в воздухе; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
出版事項: (2010)
著者:: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
出版事項: (2010)
類似資料
-
Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
著者:: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
出版事項: (2011) -
Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
著者:: Третьяков Р. С.
出版事項: (2010) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2016) -
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
出版事項: (Томск, 2016) -
Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Киселева Д. В.
出版事項: (2015)