Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)

Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 113-118
Autore principale:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Altri autori:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2010
Soggetti:	труды учёных ТПУ
Natura:	Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491411

Documenti analoghi

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Pubblicazione: (2011)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Рогожников Д. С.
Pubblicazione: (2016)

Оптимизация магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
Pubblicazione: (2009)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Киселева Д. В.
Pubblicazione: (2015)

Технологические возможности магнетронной распылительной системы с испаряющимся катодом; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
di: Третьяков Р. С.
Pubblicazione: (2010)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, 2016)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Pubblicazione: (2022)

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Азина М. А.
Pubblicazione: (2011)

Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Бутько Я. А. Яна Александровна
Pubblicazione: (2013)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
Pubblicazione: (2014)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
di: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Pubblicazione: (2015)

Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Pubblicazione: (2023)

Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Ашихмин Д. А.
Pubblicazione: (2024)

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
di: Витязь П. А. Петр Александрович
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1983)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2020)

Способ получения нитрида алюминия
Pubblicazione: ()

Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
Pubblicazione: (2025)

Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1981)

Способ получения микрокристаллов нитрида алюминия
Pubblicazione: ()

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Михневич К. С.
Pubblicazione: (2015)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
di: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1973)

Плазмодинамический синтез нитрида алюминия; Энергетика, электромеханика и энергоэффективные технологии глазами молодежи
di: Гуков М. И.
Pubblicazione: (2015)

Оптимизация процессов распылительной сушки
di: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1984)

Синтез нанопорошков оксидов алюминия и циркония методом распылительной сушки; Высокие технологии в современной науке и технике
di: Илела А. Э. Алфа Эдисон
Pubblicazione: (2014)

Бетатрон с дуальной энергией; Информационно-измерительная техника и технологии, ИИТиТ 2016
di: Дружинин К. П. Константин Петрович
Pubblicazione: (2016)

Получение высокотеплопроводных материалов из нитрида алюминия; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
Pubblicazione: (2012)

Химическая устойчивость порошков нитрида алюминия; Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований; № 6, ч. 3
di: Ревва И. Б. Инна Борисовна
Pubblicazione: (2015)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2012)

Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы; Изотопы: технологии, материалы и применение
di: Мюсова А. Е.
Pubblicazione: (2021)

Осаждение пленок арсенида галлия методом импульсной ионной абляции и их свойства; Физика твердого тела
Pubblicazione: (2009)

Влияние способа получения нитрида алюминия на свойства оксинитрида алюминия; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
di: Ивахив О. О.
Pubblicazione: (2022)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Pubblicazione: (2022)

Прямой плазмодинамический синтез ультрадисперсного порошка нитрида алюминия; Наука. Технологии. Инновации; Ч. 3
di: Гуков М. И. Максим Игоревич
Pubblicazione: (2015)

Получение композиционных порошков на основе оксидов алюминия и циркония методом распылительной сушки; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Нургысанова А. Е.
Pubblicazione: (2015)

Магнетронное осаждение оксида титана в поле ионов аргона; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
di: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Pubblicazione: (2010)

Ультразвуковое диспергирование порошка нитрида алюминия, полученного плазмодинамическим методом; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 3
di: Гуков М. И.
Pubblicazione: (2015)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Петраков Ю. В.
Pubblicazione: (2017)