|
|
|
|
| LEADER |
00000n a2a2200000 4500 |
| 001 |
491411 |
| 005 |
20250904105314.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\160388
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\160385
|
| 090 |
|
|
|a 491411
|
| 100 |
|
|
|a 20121127a2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
|f Ю. Н. Юрьев, В. П. Кривобоков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 118 (5 назв.)
|
| 461 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\126661
|t Т. 53, № 10/2 (приложение)
|v С. 113-118
|d 2010
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник
|f 1984-
|g Юрий Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543
|9 14839
|
| 701 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|4 070
|9 9290
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121127
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160407
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
