Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы

Chi tiết về thư mục
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 113-118
Tác giả chính: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Tác giả khác: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Ngôn ngữ:Tiếng Nga
Được phát hành: 2010
Những chủ đề:
Định dạng: Chương của sách
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491411