Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 113-118 |
|---|---|
| Tác giả chính: | |
| Tác giả khác: | |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Nga |
| Được phát hành: |
2010
|
| Những chủ đề: | |
| Định dạng: | Chương của sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491411 |
| Mô tả không khả dụng. |