Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич & Кривобоков В. П. Валерий Павлович. (2010). Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2010.
Cita Chicago (17th ed.)Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич i Кривобоков В. П. Валерий Павлович. Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2010, 2010.
Cita MLA (9th ed.)Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич i Кривобоков В. П. Валерий Павлович. Осаждение пленок нитрида алюминия с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. 2010, 2010.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.