Магнетронное осаждение оксида титана в поле ионов аргона; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958- Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 108-112 |
|---|---|
| Автор: | |
| Інші автори: | |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
2010
|
| Предмети: | |
| Формат: | Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491409 |