Магнетронное осаждение оксида титана в поле ионов аргона; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10/2 (приложение)

Detalhes bibliográficos
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-
Т. 53, № 10/2 (приложение).— 2010.— С. 108-112
Autor principal: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Outros Autores: Умнов С. П. Сергей Павлович
Idioma:russo
Publicado em: 2010
Assuntos:
Formato: Capítulo de Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=491409

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 491409
005 20240212095238.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\160385 
035 |a RU\TPU\prd\160381 
090 |a 491409 
100 |a 20121127a2010 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Магнетронное осаждение оксида титана в поле ионов аргона  |f В. П. Кривобоков, С. П. Умнов 
320 |a Библиогр.: с. 112 (3 назв.) 
461 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191  |t Известия вузов. Физика  |f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет  |d 1958- 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\126661  |t Т. 53, № 10/2 (приложение)  |v С. 108-112  |d 2010 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
701 1 |a Умнов  |b С. П.  |c физик  |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1957-  |g Сергей Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33547 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20121127 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150212  |g RCR 
942 |c BK