Методы исследования структуры нанокристаллических покрытий с использованием синхротронного излучения - Галимов Р. М. Руслан Маликович; Тимченко Н. А. Николай Алексеевич; Чернов И. П. Иван Петрович; Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович; Крысина О. В.; Слободский Т. Тарас; Коваль Н. Н. Николай Николаевич (2010, 2010)
Рассмотрены методы исследования нанокристаллических слоев и покрытий, получаемых плазменными и пучковыми технологиями с использованием дифракционных и спектральных методов, развиваемых на источниках синхротронного излучения. Представлено описание экспериментальных установок. Методы иллюстрируются примерами проведенных исследований нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана. Приведены результаты исследований покрытий методами рентгеноструктурного и рентгенофлуоресцентного анализа. Определены распределения кристаллитов по размерам. Обсуждается модель формирования наноразмерных структур.