Радиационно-термическая активация кремния, имплантированного в арсенид галлия

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Физика и техника полупроводников.— , 1968- Т. 33, вып. 6.— 1999.— С. 687-690
Autore principale:	Ардышев В. М.
Altri autori:	Суржиков А. П. Анатолий Петрович
Lingua:	russo
Pubblicazione:	1999
Soggetti:	труды учёных ТПУ
Natura:	Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=487764

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	487764
005	20240131090143.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\155830
035			\|a RU\TPU\tpu\21872
090			\|a 487764
100			\|a 20121022a1999 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Радиационно-термическая активация кремния, имплантированного в арсенид галлия \|f В. М. Ардышев, А. П. Суржиков
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\403 \|t Физика и техника полупроводников \|d 1968-
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\156426 \|t Т. 33, вып. 6 \|v С. 687-690 \|d 1999
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Ардышев \|b В. М.
701		1	\|a Суржиков \|b А. П. \|c физик \|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук \|f 1951- \|g Анатолий Петрович \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22010 \|9 9307
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20120913
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20121220 \|g RCR
942			\|c BK