Радиационно-термическая активация кремния, имплантированного в арсенид галлия
| Parent link: | Физика и техника полупроводников.— , 1968- Т. 33, вып. 6.— 1999.— С. 687-690 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
1999
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=487764 |
| Description not available. |