|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
48739 |
| 005 |
20231221090841.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\51042
|
| 090 |
|
|
|a 48739
|
| 100 |
|
|
|a 20030321d2002 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Тонкие пленки и многослойные материалы для электроники
|e учебное пособие
|f А. В. Панин
|g Томский политехнический университет
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c Изд-во ТПУ
|d 2002
|
| 215 |
|
|
|a 128 с.
|c ил.
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a деградация
|
| 610 |
1 |
|
|a барьер Шоттки
|
| 610 |
1 |
|
|a нагревание
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Панин
|b А. В.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1971-
|g Алексей Викторович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31424
|9 15588
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030321
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211216
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
