Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Autor Corporativo:	Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
Outros autores:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Idioma:	ruso
Publicado:	Томск, [Б. и.], 2002
Subjects:	Кремний, соединения > Химия Вольфрам, соединения > Химия Плазма > Взаимодействие с веществом химические процессы газы молекулы колебательные возбуждения ускорители ускорительная техника ТЕМП плазмохимические реакции радиационно-акустическая диагностика тетрахлорид кремния сильноточный электронный пучок гексафторид вольфрама диссоциация импульсный электронный пучок авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ
Acceso en liña:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/14.pdf
Formato:	MixedMaterials Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=48457

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2003/14.pdf