Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия; Вестник науки Сибири; № 3 (4)

Dades bibliogràfiques
Parent link:Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064
№ 3 (4).— 2012.— [С. 125-129]
Autor principal: Клименов В. А. Василий Александрович
Altres autors: Мамонтов А. П. Аркадий Павлович
Sumari:Заглавие с титульного листа
Исследовано влияние характеристического рентгеновского излучения на полуизолирующий арсенид галлия, применяемый в качестве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем с помощью ионной имплантации и эпитаксии. Установлено, что изменение сопротивления при облучении позволяет получать информацию об однородности и термической стабильности пластин полуизолирующего арсенида галлия. Обсуждаются физические процессы, происходящие при облучении полуизолирующего арсенида галлия.
Idioma:rus
Publicat: 2012
Col·lecció:Инженерные науки
Matèries:
Accés en línia:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069
Format: Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=480394

Ítems similars