Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (1).— 2011.— [С. 220-228] |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | , , , |
| الملخص: | Заглавие с титульного листа Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ε изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ε пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %. |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
2011
|
| سلاسل: | Инженерные науки |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927 |
| التنسيق: | الكتروني فصل الكتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477526 |
مواد مشابهة
Методика и прибор для исследований низкочастотной диэлектрической проницаемости тонких плёнок аморфного льда с регистрацией данных на компьютере; Приборы и техника эксперимента; № 1
منشور في: (2003)
منشور في: (2003)
Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
حسب: Владимирова Л. Н.
منشور في: (Воронеж, ВГУ, 2019)
حسب: Владимирова Л. Н.
منشور في: (Воронеж, ВГУ, 2019)
Исследование электрических характеристик тонких кремнийуглеродосодержащих покрытий; Дефектоскопия; № 10
حسب: Калмыков А. В.
منشور في: (2003)
حسب: Калмыков А. В.
منشور في: (2003)
Радиационно-химическая и термическая прививка тонких пленок ПВДФ для функциональной мембраны; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
حسب: Иль А. П.
منشور في: (2015)
حسب: Иль А. П.
منشور في: (2015)
Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
حسب: Румак Н. В. Николай Владимирович
منشور في: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)
حسب: Румак Н. В. Николай Владимирович
منشور في: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)
Диэлектрические свойства пленок полимерных композитов с сегнетоэлектрическим наполнителем; Наукоемкие технологии; № 1
منشور في: (2004)
منشور في: (2004)
Микроструктурирование тонких пленок
منشور في: (Москва, Наука, 1991)
منشور في: (Москва, Наука, 1991)
Термическая прививка тонких пленок полипропилена для функциональной мембраны; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
حسب: Иль А. П.
منشور في: (2016)
حسب: Иль А. П.
منشور في: (2016)
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
حسب: Васильев В. Ю.
منشور في: (Новосибирск, НГТУ, 2021)
حسب: Васильев В. Ю.
منشور في: (Новосибирск, НГТУ, 2021)
Т. 6; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1973)
منشور في: (1973)
Т. 7; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1977)
منشور في: (1977)
Технология толстых и тонких пленок: пер. с англ.
منشور في: (Москва, Мир, 1972)
منشور في: (Москва, Мир, 1972)
Химия и технология тонких неорганических пленок: конспект лекций
حسب: Борисенко А. И. Анатолий Исидорович
منشور في: (Ленинград, 1973)
حسب: Борисенко А. И. Анатолий Исидорович
منشور في: (Ленинград, 1973)
Т. 1; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1967)
منشور في: (1967)
Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1982)
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1982)
Т. 2; Технология тонких пленок
منشور في: (1977)
منشور في: (1977)
Т. 8; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1978)
منشور في: (1978)
Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
حسب: Березин А. С. Андрей Сергеевич
منشور في: (Москва, Радио и связь, 1992)
حسب: Березин А. С. Андрей Сергеевич
منشور في: (Москва, Радио и связь, 1992)
Магнитооптика тонких пленок
حسب: Звездин А. К. Анатолий Константинович
منشور في: (Москва, Наука, 1988)
حسب: Звездин А. К. Анатолий Константинович
منشور في: (Москва, Наука, 1988)
Т. 1; Технология тонких пленок
منشور في: (1977)
منشور في: (1977)
Т. 2; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1967)
منشور في: (1967)
Т. 3; Физика тонких пленок; Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1968)
منشور في: (1968)
Т. 4; Физика тонких пленок; Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1970)
منشور في: (1970)
Т. 5; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
منشور في: (1972)
منشور في: (1972)
Влияние омического нагрева на интенсивность экстракции сахарозы из ягодного сырья; Химия и химическая технология в XXI веке
حسب: Рассанова К. А.
منشور في: (2016)
حسب: Рассанова К. А.
منشور في: (2016)
Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Чэнь Ле
منشور في: (2013)
حسب: Чэнь Ле
منشور في: (2013)
Химические методы получения тонких прозрачных пленок
حسب: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
منشور في: (Ленинград, Химия, 1971)
حسب: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
منشور في: (Ленинград, Химия, 1971)
Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
حسب: Шандра З. А.
منشور في: (Томск, [Б. и.], 1972)
حسب: Шандра З. А.
منشور في: (Томск, [Б. и.], 1972)
Физические основы электроники. Контакты металл–полупроводник учебно-методическое пособие
حسب: Дорогой С. В.
منشور في: (Новосибирск, НГТУ, 2019)
حسب: Дорогой С. В.
منشور في: (Новосибирск, НГТУ, 2019)
Исследование стойкости омического контакта металл-арсенид галлия при гамма-облучении; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
حسب: Градобоев А. В. Александр Васильевич
منشور في: (2002)
حسب: Градобоев А. В. Александр Васильевич
منشور في: (2002)
Коагуляция и динамика тонких пленок
حسب: Духин С. С. Станислав Самуилович
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1986)
حسب: Духин С. С. Станислав Самуилович
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1986)
Основы анализа поверхности и тонких пленок: пер. с англ.
حسب: Фелдман Л. Леонард
منشور في: (Москва, Мир, 1989)
حسب: Фелдман Л. Леонард
منشور في: (Москва, Мир, 1989)
Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок: труды всесоюзного симпозиума по аппаратуре и методам исследования тонких магнитных пленок, Красноярск, 20-27 июля 1967 г.
منشور في: (Красноярск, [Б. и.], 1968)
منشور في: (Красноярск, [Б. и.], 1968)
Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
حسب: Васичев Б. Н. Борис Никитович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1977)
حسب: Васичев Б. Н. Борис Никитович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1977)
Технология тонких пленок: практикум
حسب: Никулин Д. М.
منشور في: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)
حسب: Никулин Д. М.
منشور في: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
حسب: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
منشور في: (Москва, Металлургия, 1980)
حسب: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
منشور في: (Москва, Металлургия, 1980)
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
Вакуумное нанесение тонких пленок
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергия, 1967)
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергия, 1967)
Твердотельная электроника учебно-методическое пособие
حسب: Ковалев А. Н.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2010)
حسب: Ковалев А. Н.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2010)
Особенности РОР-спектроскопии тонких пленок перовскитов; Вестник науки Сибири; № 1 (2)
منشور في: (2012)
منشور في: (2012)