Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
| Источник: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (1).— 2011.— [С. 220-228] |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , |
| Примечания: | Заглавие с титульного листа Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ε изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ε пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %. |
| Язык: | русский |
| Опубликовано: |
2011
|
| Серии: | Инженерные науки |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927 |
| Формат: | Электронный ресурс Статья |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477526 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 477526 | ||
| 005 | 20231101092936.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\prd\144280 | ||
| 035 | |a RU\TPU\prd\144278 | ||
| 090 | |a 477526 | ||
| 100 | |a 20120619d2011 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур |f К. А. Воротилов [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (754 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Инженерные науки | |
| 230 | |a Электронные текстовые данные (1 файл : 754 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 228 (7 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ε изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ε пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143680 |x 2226-0064 |t Вестник науки Сибири |o электронный научный журнал |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2011- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143681 |t № 1 (1) |v [С. 220-228] |d 2011 | |
| 610 | 1 | |a МДП-структуры | |
| 610 | 1 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 1 | |a диэлектрическая проницаемость | |
| 610 | 1 | |a изолирующие пленки | |
| 610 | 1 | |a термические оксиды | |
| 610 | 1 | |a краевой эффект | |
| 610 | 1 | |a омический контакт | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 675 | |a 537.226: 621.3.049.772.1 |v 3 | ||
| 701 | 1 | |a Воротилов |b К. А. |g Константин Анатольевич | |
| 701 | 1 | |a Лучников |b П. А. |g Петр Александрович | |
| 701 | 1 | |a Подгорный |b Ю. В. |g Юрий Владимирович | |
| 701 | 1 | |a Серегин |b Д. С. |g Дмитрий Сергеевич | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20180116 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927 | |
| 942 | |c BK | ||