Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (1).— 2011.— [С. 220-228] |
|---|---|
| מחברים אחרים: | , , , |
| סיכום: | Заглавие с титульного листа Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ε изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ε пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %. |
| יצא לאור: |
2011
|
| סדרה: | Инженерные науки |
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927 |
| פורמט: | אלקטרוני Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477526 |
| תיאור פיזי: | 1 файл (754 Кб) |
|---|---|
| סיכום: | Заглавие с титульного листа Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ε изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ε пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %. |