Управление качеством вакуумных фторполимерных покрытий направленной электронной обработкой; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (1).— 2011.— [С. 167-180] |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Рассмотрены вопросы формирования вакуумных фторполимерных пленок, путем осаждения на поверхности подложки из газовой фазы продуктов диспергирования блочного политетрафторэтилена при направленной технологической обработке растущего слоя покрытия электронами и ионами плазмы в ВЧ-разряде. Исследованы зависимости электрических свойств полученных пленок от режимов их технологической обработки. |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2011
|
| Serier: | Инженерные науки |
| Fag: | |
| Online adgang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14918 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477457 |