Управление качеством вакуумных фторполимерных покрытий направленной электронной обработкой; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
| Источник: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (1).— 2011.— [С. 167-180] |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Примечания: | Заглавие с титульного листа Рассмотрены вопросы формирования вакуумных фторполимерных пленок, путем осаждения на поверхности подложки из газовой фазы продуктов диспергирования блочного политетрафторэтилена при направленной технологической обработке растущего слоя покрытия электронами и ионами плазмы в ВЧ-разряде. Исследованы зависимости электрических свойств полученных пленок от режимов их технологической обработки. |
| Язык: | русский |
| Опубликовано: |
2011
|
| Серии: | Инженерные науки |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14918 |
| Формат: | Электронный ресурс Статья |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477457 |
| Объем: | 1 файл (993 Кб) |
|---|---|
| Примечания: | Заглавие с титульного листа Рассмотрены вопросы формирования вакуумных фторполимерных пленок, путем осаждения на поверхности подложки из газовой фазы продуктов диспергирования блочного политетрафторэтилена при направленной технологической обработке растущего слоя покрытия электронами и ионами плазмы в ВЧ-разряде. Исследованы зависимости электрических свойств полученных пленок от режимов их технологической обработки. |