Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения

書誌詳細
Parent link:Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064
№ 1 (1).— 2011.— [С. 72-76]
その他の著者: Рябчиков А. И. Александр Ильич, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Сивин Д. О. Денис Олегович, Додорин К. Ю. Константин Юрьевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович
要約:Заглавие с титульного листа
Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода.
出版事項: 2011
シリーズ:Физика. Математика
主題:
オンライン・アクセス:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894
フォーマット: 電子媒体 図書の章
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477410

類似資料