Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Вестник науки Сибири; № 1 (1)

Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Вестник науки Сибири; № 1 (1)

Bibliographic Details
Parent link:Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064
№ 1 (1).— 2011.— [С. 72-76]
Other Authors: Рябчиков А. И. Александр Ильич, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Сивин Д. О. Денис Олегович, Додорин К. Ю. Константин Юрьевич, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Summary:Заглавие с титульного листа
Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода.
Language:Russian
Published: 2011
Series:Физика. Математика
Subjects:
физика
газоразрядная плазма
тлеющие разряды
формирование
полые катоды
высокочастотные напряжения
импульсные напряжения
использование
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477410

Similar Items

Similar Items