Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (1).— 2011.— [С. 72-76] |
|---|---|
| Autres auteurs: | , , , , |
| Résumé: | Заглавие с титульного листа Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода. |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2011
|
| Collection: | Физика. Математика |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894 |
| Format: | Électronique Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477410 |