Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
| Parent link: | Вестник науки Сибири: электронный научный журнал/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2011-.— 2226-0064 № 1 (1).— 2011.— [С. 72-76] |
|---|---|
| Altres autors: | , , , , |
| Sumari: | Заглавие с титульного листа Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2011
|
| Col·lecció: | Физика. Математика |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=477410 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 477410 | ||
| 005 | 20231101092923.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\prd\144143 | ||
| 035 | |a RU\TPU\prd\144142 | ||
| 090 | |a 477410 | ||
| 100 | |a 20120615d2011 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения |f А. И. Рябчиков [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (586 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Физика. Математика | |
| 230 | |a Электронные текстовые данные (1 файл : 586 Кб) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 76 (4 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143680 |x 2226-0064 |t Вестник науки Сибири |o электронный научный журнал |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2011- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\143681 |t № 1 (1) |v [С. 72-76] |d 2011 | |
| 610 | 1 | |a физика | |
| 610 | 1 | |a газоразрядная плазма | |
| 610 | 1 | |a тлеющие разряды | |
| 610 | 1 | |a формирование | |
| 610 | 1 | |a полые катоды | |
| 610 | 1 | |a высокочастотные напряжения | |
| 610 | 1 | |a импульсные напряжения | |
| 610 | 1 | |a использование | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 675 | |a 533.924 |v 3 | ||
| 701 | 1 | |a Рябчиков |b А. И. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1950- |g Александр Ильич |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006 | |
| 701 | 1 | |a Степанов |b И. Б. |c физик |c заведующий лабораторией Центра исследования свойств материалов Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1968- |g Игорь Борисович |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466 | |
| 701 | 1 | |a Сивин |b Д. О. |c специалист в области физики плазмы |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1978- |g Денис Олегович |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26465 | |
| 701 | 1 | |a Додорин |b К. Ю. |c специалист в области ускорительной техники |c инженер Томского политехнического университета |f 1982- |g Константин Юрьевич |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29639 | |
| 701 | 1 | |a Шулепов |b И. А. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1954- |g Иван Анисимович |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20180116 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894 | |
| 942 | |c BK | ||