Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12; спец. 01.04.08

Bibliographic Details
Main Author:	Пушкарев А. И. Александр Иванович
Corporate Author:	Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
Other Authors:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Language:	Russian
Published:	Томск, 2002
Subjects:	Кремний, соединения > Химия Вольфрам, соединения > Химия Плазма > Взаимодействие с веществом химические процессы газы молекулы колебательные возбуждения ускорители ускорительная техника ТЕМП плазмохимические процессы плазмохимические реакции радиационно-акустическая диагностика тетрахлорид кремния сильноточный электронный пучок импульсный электронный пучок гексафторид вольфрама диссоциация диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=46298

Description
Physical Description:	149 л. ил.

Similar Items