Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника; Журнал технической физики; Т. 76, вып. 4

Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника; Журнал технической физики; Т. 76, вып. 4

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ).— , 1931-.— 0044-4642 Т. 76, вып. 4.— 2006.— С. 61-66
Hovedforfatter:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Sprog:	russisk
Udgivet:	2006
Fag:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=461705

Lignende værker

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
af: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Udgivet: (2004)

Эрозия жидкофазной мишени в плазме магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 50, № 9
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (2007)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Бельгебаева Д. Е.
Udgivet: (2019)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2018)

Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (2009)

Катодное распыление
af: Плешивцев Н. В. Николай Васильевич
Udgivet: (Москва, Атомиздат, 1968)

Катодное распыление
af: Маслаковец Ю. П.
Udgivet: (Ленинград, Государственное технико-теоретическое изд-во, 1934)

Торможение асинхронных двигателей без внешнего источника энергии
af: Кашкалов В. И. Владимир Иванович
Udgivet: (Киев, Технiка, 1985)

Оптимизация магнетронного источника плазмы; Актуальные проблемы современного материаловедения
af: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Udgivet: (2009)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Целовальникова А. Е.
Udgivet: (2019)

Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Физическое распыление одноэлементных твердых тел: пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Мир, 1984)

Исследование ионного BR-диода с взрывоэмиссионным источником плазмы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2
af: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Udgivet: (2015)

Распыление меди импульсным мощным ионным пучком: структура и фазовый состав мишени и пленки; Физика и химия обработки материалов; № 1
Udgivet: (2001)

Исследование характеристик медных покрытий полученных с помощью жидкофазного магнетронного диода; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
af: Войнов Р. Ю.
Udgivet: (2009)

Исследование ионного диода с Br-магнитным полем и диэлектрическим анодом; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 6-2
af: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Udgivet: (2012)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2021)

Катодное распыление металлов из амальгам: отдельный оттиск
af: Гладышев В. П.
Udgivet: (Ленинград, Наука, 1976)

Гелеобразные топлива: приготовление, реология, распыление, горение: монография
Udgivet: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2020)

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка; Известия вузов. Физика; Т. 50, № 1
Udgivet: (2007)

Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W; Инновационные технологии в машиностроении
af: Просолов К. А.
Udgivet: (2022)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Udgivet: (2014)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Сурменева М. А. Мария Александровна
Udgivet: (2009)

Исследование ионного диода с Br - магнитным полем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 01.04.20
af: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2015)

Формирование структуры пленочного покрытия при воздействии ионного пучка; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 11/2 (приложение)
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (2009)

О возможностях изменения магнитной системы магнетронного источника плазмы; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Udgivet: (2009)

Исследование ионного диода с Br - магнитным полем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 01.04.20
af: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Udgivet: (Томск, 2015)

Исследование ионного диода с Br - магнитным полем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.20
af: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Udgivet: (Томск, 2015)

Распыление серебра из электрода кварцевого резонатора под действием реакторного облучения; Молодые ученые и специалисты Томской области в девятой пятилетке; Секция: физико-техническая. 1-ая подсекция: Теория и техника физического эксперимента
af: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (1975)

Т. 5: Распыление; Пучки заряженных частиц и твердое тело
Udgivet: (1991)

Модифицирование PLLA матриксов методом магнетронного распыления медной мишени для придания им антибактериальных свойств; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
af: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Udgivet: (2017)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Udgivet: (2019)

Исследование первеанса планарного диода с многоострийным катодом; Журнал технической физики; Т. 78, вып. 3
af: Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Udgivet: (2008)

Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: пер. с англ.; Вып. 2; Распыление сплавов и соединений, распылениие под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности
Udgivet: (Москва, Мир, 1984)

Т. 76, вып. 1; Журнал технической физики
Udgivet: (2006)

Т. 76, вып. 6; Журнал технической физики
Udgivet: (2006)

Т. 76, вып. 7; Журнал технической физики
Udgivet: (2006)

Т. 76, вып. 8; Журнал технической физики
Udgivet: (2006)

Т. 76, вып. 9; Журнал технической физики
Udgivet: (2006)

Т. 76, вып. 10; Журнал технической физики
Udgivet: (2006)

Т. 76, вып. 11; Журнал технической физики
Udgivet: (2006)