Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника

Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ).— , 1931-.— 0044-4642 Т. 76, вып. 4.— 2006.— С. 61-66
Autor principal:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado:	2006
Materias:	труды учёных ТПУ
Formato:	Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=461705

Ejemplares similares

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком
por: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Publicado: (2004)

Эрозия жидкофазной мишени в плазме магнетронного разряда
por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado: (2007)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (2018)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния
por: Бельгебаева Д. Е.
Publicado: (2019)

Влияние атомов, распыленных с поверхности мишени, на механизм магнетронного разряда
por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado: (2009)

Оптимизация магнетронного источника плазмы
por: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Publicado: (2009)

Технологические возможности магнетронного диода с испаряющейся мишенью
por: Третьяков Р. С.
Publicado: (2011)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
por: Целовальникова А. Е.
Publicado: (2019)

Распыление серебра из электрода кварцевого резонатора под действием реакторного облучения
por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado: (1975)

Исследование ионного BR-диода с взрывоэмиссионным источником плазмы
por: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Publicado: (2015)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Publicado: (2019)

Катодное распыление
por: Маслаковец Ю. П.
Publicado: (Ленинград, Государственное технико-теоретическое изд-во, 1934)

Исследование ионного диода с Br-магнитным полем и диэлектрическим анодом
por: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Publicado: (2012)

Распыление меди импульсным мощным ионным пучком: структура и фазовый состав мишени и пленки
Publicado: (2001)

Формирование структуры пленочного покрытия при воздействии ионного пучка
por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado: (2009)

Исследование характеристик медных покрытий полученных с помощью жидкофазного магнетронного диода
por: Войнов Р. Ю.
Publicado: (2009)

Изменение структуры осаждаемого оксидного покрытия в поле ионного пучка
por: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicado: (2011)

Распыление никеля в парамагнитном состоянии
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (2016)

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка
Publicado: (2007)

Т. 5: Распыление
Publicado: (1991)

Исследование ионного диода с Br - магнитным полем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 01.04.20
por: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2015)

О возможностях изменения магнитной системы магнетронного источника плазмы
por: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Publicado: (2009)

Исследование ионного диода с Br - магнитным полем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 01.04.20
por: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Publicado: (Томск, 2015)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита
por: Сурменева М. А. Мария Александровна
Publicado: (2009)

Исследование ионного диода с Br - магнитным полем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.20
por: Степанов А. В. Андрей Владимирович
Publicado: (Томск, 2015)

Распыление свинца атомами водорода тепловых энергий
por: Харламов В. Ф.
Publicado: (1986)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов
por: Марьин П. В. Павел Владимирович
Publicado: (2021)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
por: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Publicado: (2014)

Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W
por: Просолов К. А.
Publicado: (2022)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (2021)

Модифицирование PLLA матриксов методом магнетронного распыления медной мишени для придания им антибактериальных свойств
por: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Publicado: (2017)

Мелкодисперсное распыление водоугольных топлив мощными лазерными импульсами
por: Зайцев А. С. Александр Сергеевич
Publicado: (2019)

Распыление под действием бомбардировки частицами
Publicado: (Москва, Мир, 1998)

Мелкодисперсное распыление водоугольных топлив мощными лазерными импульсами
por: Зайцев А. С. Александр Сергеевич
Publicado: (2018)

Гелеобразные топлива: приготовление, реология, распыление, горение монография
Publicado: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2020)

Катодное распыление металлов из амальгам отдельный оттиск
por: Гладышев В. П.
Publicado: (Ленинград, Наука, 1976)

Выбор оптимальных параметров спиральной мишени, как источника закрученного излучения, методами численного моделирования
por: Бердников Н. С.
Publicado: (2024)

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
por: Майер Д. Н.
Publicado: (2012)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
por: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Publicado: (2022)

Исследование динамики импеданса взрывоэмиссионного диода
por: Приходько А. В.
Publicado: (2005)