Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника; Журнал технической физики; Т. 76, вып. 4

Podrobná bibliografie
Parent link:	Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ).— , 1931-.— 0044-4642 Т. 76, вып. 4.— 2006.— С. 61-66
Hlavní autor:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Jazyk:	ruština
Vydáno:	2006
Témata:	труды учёных ТПУ
Médium:	MixedMaterials Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=461705

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	461705
005	20240212094903.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\125761
035			\|a RU\TPU\tpu\3903
090			\|a 461705
100			\|a 20111128d2006 k \|0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника \|f В. П. Кривобоков
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\452 \|x 0044-4642 \|t Журнал технической физики \|f Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) \|d 1931-
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\100005 \|t Т. 76, вып. 4 \|v С. 61-66 \|d 2006
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Кривобоков \|b В. П. \|c физик \|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук \|f 1948- \|g Валерий Павлович \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 \|9 9290
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20141013 \|g RCR
942			\|c BK