Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного источника
| Parent link: | Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ).— , 1931-.— 0044-4642 Т. 76, вып. 4.— 2006.— С. 61-66 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Published: |
2006
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=461705 |
| Description not available. |