|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
459868 |
| 005 |
20231101085206.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\123687
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\123686
|
| 090 |
|
|
|a 459868
|
| 100 |
|
|
|a 20111027d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drnn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние различных видов отжига на концентрационные профили ионов кремния, имплантированных в арсенид галлия
|b Электронный ресурс
|f А. В. Чернявский
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (157 Кб)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 157 Кб)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|t Известия вузов. Физика
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\122269
|t Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
|o тематический выпуск
|f под ред. А. П. Суржикова
|d 2011
|
| 610 |
1 |
|
|a арсенид галлия
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Чернявский
|b А. В.
|c российский учёный в области электроники, диэлектриков и полупроводников
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета
|g Александр Викторович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26556
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111018
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121213
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K03/362.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
