Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия

Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика.— , 1958- Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2011
Other Authors:	Баталов Р. И., Баязитов Р. М., Нуждин В. И., Гайдук П. И., Прокопьев С. Л., Ивлев Г. Д.
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2011
Subjects:	кремний импульсный отжиг имплантация электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K02/12.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=458186

Similar Items

Влияние различных видов отжига на концентрационные профили ионов кремния, имплантированных в арсенид галлия
by: Чернявский А. В. Александр Викторович
Published: (2011)

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Протонный отжиг имплантированных арсенида галлия и кремния
by: Ардышев М. В.
Published: (2004)

Импульсный синтез соединений для кремниевой оптоэлектроники
by: Баязитов Р. М.
Published: (2011)

Влияние термического отжига на структурно-фазовые изменения в сплаве Ni-Ti, имплантированном ионами криптона
by: Полтавцева В. П. Валентина Павловна
Published: (2016)

Влияние модифицирования ионами кремния поверхностных слоев никелида титана на его коррозионную стойкость в искусственных биологических средах
Published: (2012)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
by: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Published: (2012)

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
by: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Published: (Минск, Наука и техника, 1992)

Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2008)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации
by: Иванова А. И. Анна Ивановна
Published: (2024)

Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
by: Ардышев М. В.
Published: (2002)

Влияние имплантации ионов и последующего отжига на диэлектрические свойства и электроперенос кристаллов с сильных электрон-фононным взаимодействием
by: Кабышев А. В.
Published: (2002)

Влияние легирования кремнием поверхностных слоев никелида титана на его коррозионную стойкость и биохимическую совместимость
Published: (2012)

Изменение состояний примесей и соответствующих силовых полей в кремнии после высокотемпературных циклических отжигов
Published: (2003)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2006)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами хрома и отжига
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2005)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2007)

Влияние ионного легирования кремнием, титаном, цирконием поверхностных слоев никелида титана на цитотоксичность и пролиферацию мезенхимальных стволовых клеток
Published: (2011)

Коррозионные свойства поверхностных слоев титана, имплантированных ионами алюминием
by: Даулет М.
Published: (2012)

The surface alloying effect of silicon in a binary NiTi-base alloy on the corrosion resistance and biocompatibility of the material
Published: (2013)

Напряжения в имплантированных структурах арсенида галлия
by: Ардышев М. В.
Published: (2002)

Автоматизация процесса вакуумного отжига титановых конструкций
by: Соколов Ю. А.
Published: (2003)

Ионный синтез пленок твердого раствора [Ga1-xInxAs]
by: Ардышев М. В.
Published: (2004)

Полупроводниковые фосфиды и арсениды кремния и германия
by: Гончаров Е. Г. Евгений Григорьевич
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1989)

Структура и свойства чугунов, легированных медью после графитизирующего отжига
Published: (2017)

Ионный абляционный синтез пленок арсенида галлия на кремниевой подложке
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2012)

The Synthesis of Gallium Arsenide Films on Silicon Substrate by Ionics Ablation
by: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Published: (2012)

Деформационные характеристики приповерхностных слоев циркониевой керамики, имплантированных ионами алюминия
by: Васильев И. П. Иван Петрович
Published: (2015)

Электрохимия германия и кремния
by: Ефимов Е. А. Евгений Александрович
Published: (Москва, Госхимиздат, 1963)

Особенности отжига и термоусадки прессованных нанопорошков на основе моноклинного оксида иттрия
Published: (2011)

Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]
by: Кулинич О. А.
Published: (2003)

Коррозионная устойчивость модифицированного кремнием никелида титана в плазме крови
Published: (2013)

Эффекты дальнодействия в ионно-имплантированных металлических материалах
Published: (Томск, Изд-во НТЛ, 2004)

Исследование характеристик импульсного рефлекторного оксиметра
by: Тургунова Н. Д. Наталья Джурабоевна
Published: (2012)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность
Published: (2022)

Molecular Dynamics Simulations of Vacancy Generation and Migration near a Monocrystalline Silicon Surface during Energetic Cluster Ion Implantation
Published: (2020)

Влияние отжига на высокодефектную микроструктуру реакторной аустенитной стали
by: Аккузин С. А.
Published: (2023)

Size effect in AlN/SiN multilayered films irradiated with helium and argon ions
Published: (2018)

Нанотвердость и износостойкость высокопрочных сталей 38ХНЗМФА и ШХ-15, имплантированных ионами (Al+B), (Ti+B), Ti
Published: (2006)