Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия

Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия

Библиографические подробности
Источник:	Известия вузов. Физика.— , 1958- Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2011
Другие авторы:	Баталов Р. И., Баязитов Р. М., Нуждин В. И., Гайдук П. И., Прокопьев С. Л., Ивлев Г. Д.
Примечания:	Заглавие с экрана
Опубликовано:	2011
Предметы:	кремний импульсный отжиг имплантация электронный ресурс
Online-ссылка:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K02/12.pdf
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=458186

Схожие документы

Влияние различных видов отжига на концентрационные профили ионов кремния, имплантированных в арсенид галлия
по: Чернявский А. В. Александр Викторович
Опубликовано: (2011)

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
по: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (2013)

Протонный отжиг имплантированных арсенида галлия и кремния
по: Ардышев М. В.
Опубликовано: (2004)

Импульсный синтез соединений для кремниевой оптоэлектроники
по: Баязитов Р. М.
Опубликовано: (2011)

Влияние термического отжига на структурно-фазовые изменения в сплаве Ni-Ti, имплантированном ионами криптона
по: Полтавцева В. П. Валентина Павловна
Опубликовано: (2016)

Влияние модифицирования ионами кремния поверхностных слоев никелида титана на его коррозионную стойкость в искусственных биологических средах
Опубликовано: (2012)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
по: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Опубликовано: (2012)

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
по: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1992)

Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига
по: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (2008)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
по: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (2013)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации
по: Иванова А. И. Анна Ивановна
Опубликовано: (2024)

Влияние имплантации ионов и последующего отжига на диэлектрические свойства и электроперенос кристаллов с сильных электрон-фононным взаимодействием
по: Кабышев А. В.
Опубликовано: (2002)

Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
по: Ардышев М. В.
Опубликовано: (2002)

Влияние легирования кремнием поверхностных слоев никелида титана на его коррозионную стойкость и биохимическую совместимость
Опубликовано: (2012)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами хрома и отжига
по: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (2005)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига
по: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (2006)

Изменение состояний примесей и соответствующих силовых полей в кремнии после высокотемпературных циклических отжигов
Опубликовано: (2003)

Влияние ионного легирования кремнием, титаном, цирконием поверхностных слоев никелида титана на цитотоксичность и пролиферацию мезенхимальных стволовых клеток
Опубликовано: (2011)

Оптические свойства поликристаллического оксида алюминия после облучения ионами железа и отжига
по: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (2007)

The surface alloying effect of silicon in a binary NiTi-base alloy on the corrosion resistance and biocompatibility of the material
Опубликовано: (2013)

Ионный синтез пленок твердого раствора [Ga1-xInxAs]
по: Ардышев М. В.
Опубликовано: (2004)

Коррозионные свойства поверхностных слоев титана, имплантированных ионами алюминием
по: Даулет М.
Опубликовано: (2012)

Структура и свойства чугунов, легированных медью после графитизирующего отжига
Опубликовано: (2017)

Автоматизация процесса вакуумного отжига титановых конструкций
по: Соколов Ю. А.
Опубликовано: (2003)

Напряжения в имплантированных структурах арсенида галлия
по: Ардышев М. В.
Опубликовано: (2002)

Ионный абляционный синтез пленок арсенида галлия на кремниевой подложке
по: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубликовано: (2012)

The Synthesis of Gallium Arsenide Films on Silicon Substrate by Ionics Ablation
по: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Опубликовано: (2012)

Полупроводниковые фосфиды и арсениды кремния и германия
по: Гончаров Е. Г. Евгений Григорьевич
Опубликовано: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1989)

Коррозионная устойчивость модифицированного кремнием никелида титана в плазме крови
Опубликовано: (2013)

Деформационные характеристики приповерхностных слоев циркониевой керамики, имплантированных ионами алюминия
по: Васильев И. П. Иван Петрович
Опубликовано: (2015)

Особенности отжига и термоусадки прессованных нанопорошков на основе моноклинного оксида иттрия
Опубликовано: (2011)

Molecular Dynamics Simulations of Vacancy Generation and Migration near a Monocrystalline Silicon Surface during Energetic Cluster Ion Implantation
Опубликовано: (2020)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность
Опубликовано: (2022)

Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]
по: Кулинич О. А.
Опубликовано: (2003)

Size effect in AlN/SiN multilayered films irradiated with helium and argon ions
Опубликовано: (2018)

Электрохимия германия и кремния
по: Ефимов Е. А. Евгений Александрович
Опубликовано: (Москва, Госхимиздат, 1963)

Влияние отжига на высокодефектную микроструктуру реакторной аустенитной стали
по: Аккузин С. А.
Опубликовано: (2023)

Исследование характеристик импульсного рефлекторного оксиметра
по: Тургунова Н. Д. Наталья Джурабоевна
Опубликовано: (2012)

Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов
Опубликовано: (2024)

Influence of Surface Modification of Nitinol with Silicon Using Plasma-Immersion Ion Implantation on the Alloy Corrosion Resistance in Artificial Physiological Solutions
Опубликовано: (2015)