APA (7th ed.) Citation

Баталов Р. И., Баязитов Р. М., Нуждин В. И., Гайдук П. И., Прокопьев С. Л., & Ивлев Г. Д. (2011). Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2: Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах. 2011.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Баталов Р. И., Баязитов Р. М., Нуждин В. И., Гайдук П. И., Прокопьев С. Л., and Ивлев Г. Д. Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2: Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах. 2011, 2011.

MLA (9th ed.) Citation

Баталов Р. И., et al. Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2: Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах. 2011, 2011.