Баталов Р. И., Баязитов Р. М., Нуждин В. И., Гайдук П. И., Прокопьев С. Л., & Ивлев Г. Д. (2011). Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2: Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах. 2011.
Cita Chicago (17th ed.)Баталов Р. И., Баязитов Р. М., Нуждин В. И., Гайдук П. И., Прокопьев С. Л., i Ивлев Г. Д. Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2: Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах. 2011, 2011.
Cita MLA (9th ed.)Баталов Р. И., et al. Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2: Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах. 2011, 2011.