|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
449740 |
| 005 |
20231101083225.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\111833
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\8539
|
| 090 |
|
|
|a 449740
|
| 100 |
|
|
|a 20110607a2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота
|f А. В. Белый
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\353
|x 1683-805X
|t Физическая мезомеханика
|f Институт физики прочности и материаловедения ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ)
|d 1998-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\111823
|t Т. 5, № 1
|v с. 95
|d 2002
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация ионов
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы азота
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая технология
|
| 700 |
|
1 |
|a Белый
|b А. В.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20021120
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110607
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
