Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота

Bibliographic Details
Parent link:Физическая мезомеханика/ Институт физики прочности и материаловедения ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ).— , 1998-.— 1683-805X
Т. 5, № 1.— 2002.— с. 95
Main Author: Белый А. В.
Published: 2002
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=449740
Description
Description not available.