MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 44426
005 20231031022254.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\46102 
090 |a 44426 
100 |a 20021114d1990 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Ионная имплантация в металлы  |f Ф. Ф. Комаров 
210 |a Москва  |c Металлургия  |d 1990 
215 |a 216 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 202-216. 
610 1 |a физика 
610 1 |a ионная имплантация 
610 1 |a твердые тела 
610 1 |a металлы 
675 |a 669.046  |v 3 
700 1 |a Комаров  |b Ф. Ф.  |g Фадей Фадеевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20021114  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20130621  |g PSBO 
900 |a Оптоэлектроника 
900 |a Взаимодействие излучения с веществом 
942 |c BK