Тонкие пленки; Взаимная диффузия и реакции: пер. с англ.

Detalles Bibliográficos
Outros autores:	Поут Дж. (редактор), Ту К., Мейер Дж., Розенберг Р., Киселев В. Ф. Всеволод Федорович
Idioma:	ruso
Publicado:	Москва, Мир, 1982
Subjects:	физика пленки тонкие кремниевые приборы твердые тела металл полупроводник поверхностные реакции металлические слои
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=44143

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	44143
005	20231031021932.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\45774
035			\|a RU\TPU\book\38899
090			\|a 44143
100			\|a 20021105d1982 k y0rusy50 ca
101	1		\|a rus \|c eng
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Тонкие пленки \|a Взаимная диффузия и реакции \|e пер. с англ. \|f Дж. Поут, К. Ту, Дж. Мейер, Р. Розенберг \|g Под ред. В. Ф. Киселева
210			\|a Москва \|c Мир \|d 1982
215			\|a 576 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр. в конце глав
610	1		\|a физика
610	1		\|a пленки тонкие
610	1		\|a кремниевые приборы
610	1		\|a твердые тела
610	1		\|a металл
610	1		\|a полупроводник
610	1		\|a поверхностные реакции
610	1		\|a металлические слои
675			\|a 539.216 \|v 3
701		1	\|a Поут \|b Дж.
701		1	\|a Ту \|b К.
701		1	\|a Мейер \|b Дж.
701		1	\|a Розенберг \|b Р.
702		1	\|a Киселев \|b В. Ф. \|g Всеволод Федорович \|4 340
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20160409 \|g PSBO
942			\|c BK