Т. 2; Технология тонких пленок

Bibliographic Details
Parent link:	Технология тонких пленок: справочник/ под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Т. 2.— , 1977
Language:	Russian
Published:	1977
Subjects:	физика тонкие пленки технология конденсация структура монокристаллические пленки рост свойства применение тонкопленочные резисторы тонкопленочные конденсаторы интегральные схемы справочники
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=44119

MARC


LEADER	00000nam2a2200000 4500
001	44119
005	20231031021857.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\45750
035			\|a RU\TPU\book\45749
090			\|a 44119
100			\|a 20021105d1977 km y0rusy50 ca
101	1		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a g 001zy
200	0		\|a Т. 2
210			\|d 1977
215			\|a 768 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр. в конце глав.
320			\|a Предм. указ.: с. 754-764.
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\book\45747 \|t Технология тонких пленок \|o справочник \|o пер. с англ. \|f под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга \|v Т. 2 \|d 1977
610	1		\|a физика
610	1		\|a тонкие пленки
610	1		\|a технология
610	1		\|a конденсация
610	1		\|a структура
610	1		\|a монокристаллические пленки
610	1		\|a рост
610	1		\|a свойства
610	1		\|a применение
610	1		\|a тонкопленочные резисторы
610	1		\|a тонкопленочные конденсаторы
610	1		\|a интегральные схемы
610	1		\|a справочники
675			\|a 539.216(03) \|v 3
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20021105 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20211028 \|g PSBO
942			\|c BK