|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
44118 |
| 005 |
20231031021856.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\45749
|
| 090 |
|
|
|a 44118
|
| 100 |
|
|
|a 20021105d1977 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a g 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Т. 1
|
| 210 |
|
|
|d 1977
|
| 215 |
|
|
|a 662 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце глав.
|
| 320 |
|
|
|a Предм. указ.: с. 653-662.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\45747
|t Технология тонких пленок
|o справочник
|o пер. с англ.
|f под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга
|v Т. 1
|d 1977
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумное испарение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a рисунки
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a справочники
|
| 675 |
|
|
|a 539.216(03)
|v 3
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20021105
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201118
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
