|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
440996 |
| 005 |
20231101081339.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\102483
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\8204
|
| 090 |
|
|
|a 440996
|
| 100 |
|
|
|a 20110314a2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Наноразмерные изменения структуры ионно-облученных кристаллов кремния на глубинах, превышающих пробег внедряемых ионов
|f А. Н. Киселёв, В. Л. Левшунова, В. А. Перевещиков, В. Д. Скупов
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 6 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\486
|x 0320-0116
|t Письма в Журнал технической физики
|f Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; Отделение общей физики и астрономии РАН
|d 1975-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\102469
|t Т. 28, вып. 14
|v с. 77-82
|d 2002
|
| 610 |
1 |
|
|a наноразмерные измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-облучение
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроморфология
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a твёрдые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a глубокие структурные изменения
|
| 701 |
|
1 |
|a Киселёв
|b А. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Левшунова
|b В. Л.
|
| 701 |
|
1 |
|a Перевещиков
|b В. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Скупов
|b В. Д.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20021111
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20110314
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
