Вакуумная техника: термодиффузионное напыление металлов методическое пособие - Корнилов В. М. (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2013)
Методическое пособие предназначено для студентов специальности: "Нанотехнология" 210600, при изучении дисциплины "Основы вакуумной техники и электроники".