|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
431596 |
| 005 |
20231101075409.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\91732
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\21284
|
| 090 |
|
|
|a 431596
|
| 100 |
|
|
|a 20101201a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Изменение состояний примесей и соответствующих силовых полей в кремнии после высокотемпературных циклических отжигов
|f Г. М. Воронкова, В. В. Григорьев, А. В. Зуев и др.
|
| 225 |
1 |
|
|a Твердые тела
|e Структура
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 17 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1443
|x 0044-4510
|t Журнал экспериментальной и теоретической физики
|l ЖЭТФ
|f Российская академия наук (РАН) ; Отделение физических наук РАН
|d 1931-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\91723
|t Т. 124, вып. 5
|v с. 1092-1102
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a силовые поля
|
| 610 |
1 |
|
|a циклический отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a высокотемпературный отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a эксперименты
|
| 610 |
1 |
|
|a охлаждение
|
| 701 |
|
1 |
|a Воронкова
|b Г. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Григорьев
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Зуев
|b А. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Зуев
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кирюхин
|b А. Д.
|
| 701 |
|
1 |
|a Маныкин
|b Э. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Чмырев
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Щербаков
|b С. А.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040114
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101202
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
