Неразрушающий метод локального измерения диэлектрических потерь подложек интегральных схем на СВЧ; Дефектоскопия; № 8

Détails bibliographiques
Parent link:	Дефектоскопия.— , 1965-.— 0130-3082 № 8.— 2005.— С. 84-92
Auteur principal:	Дувинг В. Г.
Langue:	russe
Publié:	2005
Collection:	Радиационные и другие методы
Sujets:	СВЧ локальные измерения неразрушающий контроль диэлектрические потери интегральные схемы подложки пленочные материалы расчетные формулы
Format:	MixedMaterials Chapitre de livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=428799

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	428799
005	20231101074852.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\88409
035			\|a RU\TPU\prd\39577
090			\|a 428799
100			\|a 20101019a2005 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Неразрушающий метод локального измерения диэлектрических потерь подложек интегральных схем на СВЧ \|f В. Г. Дувинг
225	1		\|a Радиационные и другие методы
320			\|a Библиогр.: 10 назв.
461		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\151 \|x 0130-3082 \|t Дефектоскопия \|d 1965-
463		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\88400 \|t № 8 \|v С. 84-92 \|d 2005
610	1		\|a СВЧ
610	1		\|a локальные измерения
610	1		\|a неразрушающий контроль
610	1		\|a диэлектрические потери
610	1		\|a интегральные схемы
610	1		\|a подложки
610	1		\|a пленочные материалы
610	1		\|a расчетные формулы
675			\|a 621.382.82 \|v 3
700		1	\|a Дувинг \|b В. Г.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20051110 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20140123 \|g RCR
942			\|c BK