Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме - Варнаков С. Н.; Лепешев А. А.; Овчинников С. Г.; Паршин А. С.; Коршунов М. М.; Nevoral P. (Лабораторная техника, 2004)