Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2003.— с. 121-124
Autore principale:	Строкань Г. П.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2003
Serie:	Лабораторная техника
Soggetti:	тонкие плёнки напыление плёнок распыление материалов способы распыления высокочастотный разряд
Natura:	Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427227

Documenti analoghi

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Электрофизические и тепловые параметры термической плазмы в высокочастотном индукционном разряде; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 7
di: Герасимов А. В.
Pubblicazione: (2004)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2014)

Структурные превращения в тонких пленках
di: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1988)

Получение, свойства и применение тонких металлических пленок: доклады всесоюзной конференции
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1971)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 82, № 9
di: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Pubblicazione: (2018)

Вакуумное нанесение тонких пленок
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1967)

Высокочастотные разряды - промышленное применение
di: Дашкевич И. П. Игорь Петрович
Pubblicazione: (Ленинград, Машиностроение, 1990)

Т. 1; Технология тонких пленок
Pubblicazione: (1977)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Шаронова А. А. Анна Александровна
Pubblicazione: (2013)

Физико-механические процессы при высоковольтном разряде в жидкости: сборник научных трудов
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1980)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
di: Загузин И. Ю.
Pubblicazione: (2018)

Приборы и измерения при высокочастотном нагреве
di: Судаков П. М.
Pubblicazione: (Москва, Машиностроение, 1965)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Цао Янь
Pubblicazione: (2007)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
di: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1989)

Определение удельного энерговыделения в плазме высокочастотного емкостного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Мискун И. А. Иван Александрович
Pubblicazione: (2012)

Оптический спектрометр высокочастотного тлеющего разряда PROFILER2 для послойного анализа твердых тел; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Залогина А. С.
Pubblicazione: (2012)

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
Pubblicazione: (Ленинград, Наука, 1972)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
di: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Pubblicazione: (2016)

Микроэлектроника толстых пленок: пер. с англ.
di: Топфер М.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1973)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
di: Лязгин А. О.
Pubblicazione: (2009)

Анизотропное лазерное излучение графитовых пленок; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 125, вып. 3
Pubblicazione: (2004)

Микроструктурирование тонких пленок
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1991)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Выбор окислителя для спиновой сепарации изотопов в плазмохимических процессах; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
di: Ушаков И. А. Иван Алексеевич
Pubblicazione: (2015)

Introduction of hydrogen into titanium by plasma methods; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Pubblicazione: (2018)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Pubblicazione: (Казань, Изд-во КАИ, 1981)

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Материаловедение; № 1
di: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Pubblicazione: (2021)

Numerical simulation of high-intensity metal ion beam generation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Pubblicazione: (2018)

Плазмохимический синтез оксидных порошков для уран-ториевого ядерного топлива; Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
di: Тихонов А. Е. Алексей Евгеньевич
Pubblicazione: (2020)

Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Pubblicazione: (2013)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Pubblicazione: (Казань, Изд-во КАИ, 1983)

Влияние строения комплексных частиц в пленкообразующем растворе на структуру и свойства пленок In[2]O[3]:Sn и SnO[2]:Sb; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 2
di: Кузнецова С. А.
Pubblicazione: (2004)

Исследование диссоциации аммиака, хлора и брома в тлеющем и высокочастотном разрядах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.04
di: Зимина И. Д. Ирина Дмитриевна
Pubblicazione: (Иваново, [Б. и.], 1974)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2012)

Методы напыления ультратонких металлических пленок; Высокие технологии в современной науке и технике
di: Тесленок А. В.
Pubblicazione: (2015)

Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: сборник статей; пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1989)

Особенности затухания электромагнитного поля в плазме высокочастотного емкостного разряда; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика
Pubblicazione: (2011)

Высокочастотный разряд в волновых полях: сборник научных трудов
Pubblicazione: (Горький, 1988)