Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2003.— с. 121-124
Hovedforfatter:	Строкань Г. П.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2003
Serier:	Лабораторная техника
Fag:	тонкие плёнки напыление плёнок распыление материалов способы распыления высокочастотный разряд
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427227

Lignende værker

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
af: Антоненко С. В.
Udgivet: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
af: Пархоменко Ю. Н.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2017)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
af: Владимирова Л. Н.
Udgivet: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Электрофизические и тепловые параметры термической плазмы в высокочастотном индукционном разряде; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 7
af: Герасимов А. В.
Udgivet: (2004)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
af: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2014)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
af: Данилин Б. С. Борис Степанович
Udgivet: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Вакуумное нанесение тонких пленок
af: Данилин Б. С. Борис Степанович
Udgivet: (Москва, Энергия, 1967)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 82, № 9
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2018)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
af: Загузин И. Ю.
Udgivet: (2018)

Т. 1; Технология тонких пленок
Udgivet: (1977)

Получение, свойства и применение тонких металлических пленок: доклады всесоюзной конференции
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1971)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Шаронова А. А. Анна Александровна
Udgivet: (2013)

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
af: Зеленин В. А.
Udgivet: (Минск, Белорусская наука, 2022)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
af: Патрушева Т. Н.
Udgivet: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Высокочастотные разряды - промышленное применение
af: Дашкевич И. П. Игорь Петрович
Udgivet: (Ленинград, Машиностроение, 1990)

Физико-механические процессы при высоковольтном разряде в жидкости: сборник научных трудов
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1980)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
af: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1989)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Цао Янь
Udgivet: (2007)

Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами монография
af: Каменева А. Л.
Udgivet: (Пермь, ПНИПУ, 2010)

Структурные превращения в тонких пленках
af: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Udgivet: (Москва, Металлургия, 1988)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
af: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Udgivet: (2016)

Определение удельного энерговыделения в плазме высокочастотного емкостного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Мискун И. А. Иван Александрович
Udgivet: (2012)

Оптический спектрометр высокочастотного тлеющего разряда PROFILER2 для послойного анализа твердых тел; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Залогина А. С.
Udgivet: (2012)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
af: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Udgivet: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Udgivet: (2009)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
af: Лязгин А. О.
Udgivet: (2009)

Физика высокочастотного емкостного разряда
af: Савинов В. П.
Udgivet: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Приборы и измерения при высокочастотном нагреве
af: Судаков П. М.
Udgivet: (Москва, Машиностроение, 1965)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Udgivet: (Казань, Изд-во КАИ, 1981)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
af: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2010)

Introduction of hydrogen into titanium by plasma methods; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Udgivet: (2018)

Выбор окислителя для спиновой сепарации изотопов в плазмохимических процессах; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
af: Ушаков И. А. Иван Алексеевич
Udgivet: (2015)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
af: Ершов А. В.
Udgivet: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Udgivet: (Казань, Изд-во КАИ, 1983)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие
af: Мевис А. Ф.
Udgivet: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Numerical simulation of high-intensity metal ion beam generation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Udgivet: (2018)

Плазмохимический синтез оксидных порошков для уран-ториевого ядерного топлива; Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
af: Тихонов А. Е. Алексей Евгеньевич
Udgivet: (2020)

Микроструктурирование тонких пленок
Udgivet: (Москва, Наука, 1991)

Исследование диссоциации аммиака, хлора и брома в тлеющем и высокочастотном разрядах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.04
af: Зимина И. Д. Ирина Дмитриевна
Udgivet: (Иваново, [Б. и.], 1974)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (2012)