Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6

Bibliographic Details
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2003.— с. 121-124
Main Author:	Строкань Г. П.
Language:	Russian
Published:	2003
Series:	Лабораторная техника
Subjects:	тонкие плёнки напыление плёнок распыление материалов способы распыления высокочастотный разряд
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427227

Similar Items

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
by: Антоненко С. В.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Электрофизические и тепловые параметры термической плазмы в высокочастотном индукционном разряде; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 7
by: Герасимов А. В.
Published: (2004)

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
by: Зеленин В. А.
Published: (Минск, Белорусская наука, 2022)

Получение, свойства и применение тонких металлических пленок: доклады всесоюзной конференции
Published: (Киев, Наукова думка, 1971)

Высокочастотные разряды - промышленное применение
by: Дашкевич И. П. Игорь Петрович
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1990)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Физико-механические процессы при высоковольтном разряде в жидкости: сборник научных трудов
Published: (Киев, Наукова думка, 1980)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами монография
by: Каменева А. Л.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2010)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
by: Патрушева Т. Н.
Published: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Определение удельного энерговыделения в плазме высокочастотного емкостного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Мискун И. А. Иван Александрович
Published: (2012)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
by: Ершов А. В.
Published: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Оптический спектрометр высокочастотного тлеющего разряда PROFILER2 для послойного анализа твердых тел; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Залогина А. С.
Published: (2012)

Приборы и измерения при высокочастотном нагреве
by: Судаков П. М.
Published: (Москва, Машиностроение, 1965)

Физика высокочастотного емкостного разряда
by: Савинов В. П.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Published: (Казань, Изд-во КАИ, 1981)

Introduction of hydrogen into titanium by plasma methods; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Published: (2018)

Выбор окислителя для спиновой сепарации изотопов в плазмохимических процессах; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
by: Ушаков И. А. Иван Алексеевич
Published: (2015)

Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Published: (Казань, Изд-во КАИ, 1983)

Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: сборник статей; пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1989)

Numerical simulation of high-intensity metal ion beam generation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Published: (2018)

Плазмохимический синтез оксидных порошков для уран-ториевого ядерного топлива; Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
by: Тихонов А. Е. Алексей Евгеньевич
Published: (2020)

Исследование диссоциации аммиака, хлора и брома в тлеющем и высокочастотном разрядах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.04
by: Зимина И. Д. Ирина Дмитриевна
Published: (Иваново, [Б. и.], 1974)

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Материаловедение; № 1
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2021)

Технология получения полимерных пленок из расплавов и методы исследования их свойств учебное пособие
by: Садова А. Н.
Published: (Казань, КНИТУ, 2013)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы: [монография]
by: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Published: (Москва, Техномаш, 2008)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 82, № 9
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2018)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
by: Загузин И. Ю.
Published: (2018)

Высокочастотный разряд в волновых полях: сборник научных трудов
Published: (Горький, 1988)

Особенности затухания электромагнитного поля в плазме высокочастотного емкостного разряда; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика
Published: (2011)

Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Published: (2013)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Петрова Ю. С.
Published: (2009)

Физика граничных слоев плазмы: [учебное пособие]
by: Ершов А. П. Алексей Петрович
Published: (Москва, Изд-во МГУ, 1990)

Лазерные технологии в электронном машиностроении
by: Малов К. В.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008)

Методы напыления ультратонких металлических пленок; Высокие технологии в современной науке и технике
by: Тесленок А. В.
Published: (2015)

Физические основы электроники. Газовый разряд учебное пособие
by: Коротченко В. A.
Published: (Рязань, РГРТУ, 2013)

Т. 1; Технология тонких пленок
Published: (1977)