Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2003.— с. 121-124
Autore principale:	Строкань Г. П.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2003
Serie:	Лабораторная техника
Soggetti:	тонкие плёнки напыление плёнок распыление материалов способы распыления высокочастотный разряд
Natura:	Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427227

Documenti analoghi

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
di: Антоненко С. В.
Pubblicazione: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
di: Пархоменко Ю. Н.
Pubblicazione: (Москва, МИСИС, 2017)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
di: Владимирова Л. Н.
Pubblicazione: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2014)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления
di: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Pubblicazione: (2018)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
di: Загузин И. Ю.
Pubblicazione: (2018)

Вакуумное нанесение тонких пленок
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1967)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
di: Патрушева Т. Н.
Pubblicazione: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
di: Шаронова А. А. Анна Александровна
Pubblicazione: (2013)

Электрофизические и тепловые параметры термической плазмы в высокочастотном индукционном разряде
di: Герасимов А. В.
Pubblicazione: (2004)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе
di: Цао Янь
Pubblicazione: (2007)

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
di: Зеленин В. А.
Pubblicazione: (Минск, Белорусская наука, 2022)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
di: Лязгин А. О.
Pubblicazione: (2009)

Методы напыления ультратонких металлических пленок
di: Тесленок А. В.
Pubblicazione: (2015)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами монография
di: Каменева А. Л.
Pubblicazione: (Пермь, ПНИПУ, 2010)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы [монография]
di: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Pubblicazione: (Москва, Техномаш, 2008)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
di: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Pubblicazione: (2016)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
di: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1989)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2010)

Микроструктурирование тонких пленок
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1991)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения
di: Шлома Ю. П.
Pubblicazione: (2014)

Получение, свойства и применение тонких металлических пленок доклады всесоюзной конференции
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1971)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2012)

Высокочастотные разряды - промышленное применение
di: Дашкевич И. П. Игорь Петрович
Pubblicazione: (Ленинград, Машиностроение, 1990)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем учебное пособие
di: Мевис А. Ф.
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
di: Петрова Ю. С.
Pubblicazione: (2009)

Физико-механические процессы при высоковольтном разряде в жидкости сборник научных трудов
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1980)

Технология толстых и тонких пленок пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1972)

Получение и свойства тонких пленок сборник научных трудов
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1982)

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией
di: Гавриленко А. В.
Pubblicazione: (2023)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2009)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
di: Васильев В. Ю.
Pubblicazione: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока
di: Линник С. А. Степан Андреевич
Pubblicazione: (2012)

Магнитооптика тонких пленок
di: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1988)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2010)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (2020)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films
di: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Pubblicazione: (2014)